Осенью 2024 года Минпромторг рассматривал возможность прямого финансирования первого этапа создания «альфа-машины» — прототипа литографа — на сумму около 3 миллиардов рублей. Однако, учитывая колоссальную сложность задачи и мировой опыт, где подобные разработки измеряются десятками миллиардов долларов, было принято взвешенное решение. Фонд перспективных исследований (ФПИ), выступающий оператором прорывных научно-технических программ, получил задание на выполнение аванпроекта. Его официальное название — «Обоснование технической возможности создания отечественного рентгеновского проекционного литографа». Цель была предельно прагматичной: провести своего рода «технический аудит» за скромные, по меркам микроэлектроники, 10 миллионов рублей. «Фактически, нужно было собрать мозги в кучку и дать четкий ответ: есть ли в России реальный научно-технический задел для реализации этой идеи за приемлемые деньги, или же это пока лишь фантазии ученых, не готовые к инженерной реализации», — поясняет суть подхода эксперт в области высоких технологий.

На старте стратегической сессии, посвященной проекту, обозначились три сильнейших коллектива, претендовавших на проведение этой критически важной работы: консорциум под руководством Института физики микроструктур РАН (ИФМ РАН, Нижний Новгород), Московский институт электронной техники (МИЭТ) и Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики (ВНИИЭФ, Саров).

Однако по ходу подготовки конкурсная гонка сузилась. ВНИИЭФ, знаменитый ядерный центр, в итоге не подал заявку. Предложение же МИЭТа, одного из флагманов отечественной электроники, было отклонено в ходе процедуры рассмотрения. В результате, исполнителем аванпроекта был выбран ИФМ РАН. Этот выбор выглядит абсолютно логичным. Нижегородский институт обладает многолетним опытом и признанными компетенциями именно в области физики микро- и наноструктур, оптики, включая рентгеновскую, и смежных дисциплинах, критичных для литографии. И их победа в этом «интеллектуальном тендере» говорит о высокой оценке научного потенциала коллектива.

Завершение аванпроекта — это не создание даже макета литографа. Это — "дорожная карта". Документ, в котором должны быть:

1. Оценка технологических рисков: какие компоненты системы (источник излучения, система зеркал, прецизионная механика, фотомаски, резисты) являются наиболее сложными для реализации.

2. Анализ существующего задела: какие технологии и наработки уже есть в российских НИИ и на предприятиях, а какие придется создавать с нуля.

3. Предварительные технические решения: какие принципы и архитектура будут заложены в основу будущей машины.

4. Оценка сроков и стоимости: более точный, чем первоначальные 3 млрд рублей, прогноз по бюджету всего проекта.

Положительное заключение по аванпроекту — это зеленый свет для перехода к следующей, самой ресурсоемкой фазе: созданию "альфа-машины". Теперь у Минпромторга и ФПИ появляется научно обоснованный документ, на который можно опереться, принимая решение о выделении уже миллиардных сумм. Литограф с длиной волны 11,2 нм (метод нанолитографии в крайнем ультрафиолете, EUV) — это золотой стандарт в производстве самых современных процессоров. Именно на таких машинах сегодня выпускаются чипы с техпроцессом 7 нм, 5 нм и менее. Создание отечественного аналога позволит России в перспективе самостоятельно производить высокопроизводительную микроэлектронику, закрывающую потребности оборонно-промышленного комплекса, суперкомпьютеров, телекоммуникаций и искусственного интеллекта.

Завершение аванпроекта по российскому EUV-литографу — это скромный по бюджету, но гигантский по значимости шаг.  Дорога предстоит долгая и чрезвычайно сложная, но первый, самый важный ориентир теперь есть на карте.