Современные процессоры требуют сложнейших машин ASML, которые стоят сотни миллионов долларов и попадают под экспортные ограничения для производителей из Поднебесной. Именно поэтому китайцы ищут обходные пути. Один из них — нанопечать.
Источник изображения: Prinano
Компания Prinano в кооперации с Shenzhen Litra Technology изготовила 8-дюймовые пластины для оптических чипов. При этом, как утверждают разработчики, они полностью обошлись без глубокой ультрафиолетовой литографии DUV. Вместо стандартного проецирования схем светом инженеры применили вакуумную систему нанопечатного литографирования PL-AS. Принцип иной: специальный штамп физически вдавливает нано-структуры в слой резиста на поверхности пластины. Это избавляет от дорогостоящих оптических систем, за счёт чего себестоимость снижается примерно в десять раз.
Обычно нанопечатная литография считалась многообещающим, но не готовым для серийного производства методом. Мешали дефекты, износ шаблонов и низкая производительность. Prinano работает над этой технологией с момента основания в 2017 году. В 2025 году компания поставила первую в Китае промышленную систему нанопечатной литографии.
Теперь стартап заявляет о новом рубеже: платформа PL-AS управляет давлением на уровне пластины, использует специальные двухслойные материалы и запатентованные процессы, позволяя создавать элементы мельче 10 нанометров. В итоге компания подтвердила возможность производства фотонных чипов в масштабе пластины размером 8 дюймов.
Важная оговорка: речь не идет о подмене литографии для передовых процессоров или ИИ-ускорителей. Фотонные чипы управляют светом, а не электричеством. Они нужны для оптоволоконной связи, датчиков и лидаров. Их структуры — волноводы и решетки — состоят из повторяющихся узоров, которые удобно штамповать. Требования к дефектам и точности там ниже, чем в логических чипах.
На этом фоне остаются вопросы. Prinano не назвал объемы выпуска, процент брака и плотность дефектов. Независимых проверок тоже не было. Пока ясно лишь одно: компания перешла от лабораторных опытов к формату, пригодному для коммерческого производства. На фоне санкций США против ASML такие альтернативы выглядят для Китая стратегически важными.
