Расположенному в Зеленограде заводу «Микрон» поручено создать сложнейшее оборудование, предназначенное для создания микросхем. Предприятию выделят под эти цели около 1,5 миллиарда рублей, но эксперты уже сейчас высказывают свои опасения насчёт излишней срочности проекта и целесообразности его реализации.
Оригинальная установка Archer 10 XT. Источник изображения: Caeonline.
Итак, «Микрон» должен сделать автоматизированную установку рассовмещения топологических слоёв на пластинах на базе кремния диаметром 150 и 200 мм. Соответствующий заказ разместил на портале Госзакупок Минпромторг ещё несколько месяцев назад — изначальная сумма была чуть больше, но это уже нюансы.
В технологическом задании отдельно прописано, что подрядчик в лице «Микрона» должен каким-то образом воссоздать максимально похожую на американское оборудование Archer 10 XT (от производителя KLA Tencor, если кому важно) установку. Забавно, что Минпромторг свой проект назвал «Лучник», что является прямым переводом слова Archer. То есть, факт копирования если не скрывается, то, как минимум, не без иронии отмечен самим заказчиком.
Российское издание Cnews считает, ссылаясь на экспертов, что Минпромторг задумал реализовать невероятно сложный проект. В каком-то смысле, он чем-то близок к разработке фотолитографа, который априори можно считать одной из сложнейших (и от того очень важных) технологических разработок в плане импортозамещения российской электроники.
Автоматизированную установку рассовмещения, которая должна будет контролировать точность наложения слоёв с проектными нормами до 130 нм, нужно сдать заказчику до 2029 года. Для системы, которая создаётся в российских условиях практически с нуля, это очень жёсткие требования. Эксперты убеждены, что у «Микрона» есть все шансы не вписаться в установленные временные рамки.
