Согласно информации, предоставленной South China Morning Post, Китай стремится достичь уровня базовой самодостаточности в производстве оборудования для изготовления микросхем к этому лету. В статье приводятся слова Джеральда Инь Чжияо, главы компании Advanced Micro-Fabrication Equipment China (AMEC), которая специализируется на производстве оборудования для обработки пластин.

  Процесс производства микросхем требует использование множества инструментов и аппаратов, большинство из которых традиционно поступает из Нидерландов, США, Японии, Южной Кореи и Тайваня. Однако, в последнее время эти страны ужесточили экспортные ограничения касательно поставок таких инструментов в Китай, необходимых для технологий с высокой степенью интеграции. В результате Китай активизировал усилия по созданию собственной цепочки поставок для оборудования, необходимого для производства микросхем. Хотя эта цепочка еще не достигла международных стандартов и предназначена лишь для базовых технологических процессов, Джеральд Инь Чжияо выразил уверенность в том, что это станет реальностью гораздо быстрее, чем ожидалось.

  "Я полагал, что для достижения этого потребуется не менее десяти лет, но благодаря скоординированным усилиям множества компаний за последние два года, мы сможем добиться успеха этим летом", — отметил он.

  Джеральд Инь Чжияо выразил уверенность в том, что страна сможет достичь определенной степени самодостаточности, хотя проблемы с качеством и надежностью все еще сохраняются.

  Компания AMEC занимается производством систем травления и инструментов для металлоорганического химического осаждения из паровой фазы (MOCVD). Существуют данные о том, что некоторые из этих инструментов способны производить микросхемы по 5-нм техпроцессу, однако, проверить это невозможно без сотрудничества с ASML.

  В настоящее время AMEC получает 60% деталей для своих травильных инструментов и 80% компонентов для MOCVD из Китая, что существенно снизило зависимость от иностранных поставок. Учитывая, что большинство материалов, используемых компанией, сейчас имеют местное происхождение, можно утверждать, что AMEC близка к достижению базовой самодостаточности.

  Тем не менее, в области полупроводниковых инструментов Китая имеются значительные недочеты. Локальное оборудование составляет лишь 15-30% от общего числа инструментов, используемых литейными заводами, с наибольшими проблемами в области литографии, ионной имплантации и систем электронно-лучевого контроля.