Компания Samsung Electronics начала работу над системой Smart Sensing System, призванной повысить эффективность и изменить принцип работы заводов по производству полупроводников. Система предназначена в первую очередь для мониторинга и анализа производственного процесса в режиме реального времени и в настоящее время может автоматически обрабатывать однородность плазмы. Как сообщает DigiTimes со ссылкой на ET News, конечная цель Samsung - сделать свои заводы полностью автоматизированными, без использования человеческого труда, к 2030 году.
Конечной целью Samsung является создание полностью беспилотных заводов по производству полупроводников к 2030 году. Для достижения этой цели потребуется разработка систем, способных управлять большими объемами данных и автоматически оптимизировать работу оборудования. Интеллектуальная сенсорная система является важной частью этого плана и, как ожидается, сыграет ключевую роль в превращении этих умных, полностью автоматизированных предприятий в реальность. В настоящее время Samsung инвестирует десятки миллионов вон в такие проекты, как интеллектуальные датчики, которые, как надеется производитель, окупятся в долгосрочной перспективе.
Разрабатываемые в настоящее время " смарт-датчики" используются для измерения однородности плазмы на пластинах. Это очень важно, поскольку однородность плазмы существенно влияет на производительность таких процессов, как прессование, напыление и очистка в производстве полупроводников, поэтому точное измерение и управление этим аспектом крайне важно.
Разработка этой системы была коллективной работой, включающей сотрудничество с партнерами и научными учреждениями. Важной особенностью новых датчиков является их небольшой размер: они могут быть установлены на существующих заводах и не потребуют дополнительного пространства, которое ценится в так называемых чистых помещениях.
Стоит отметить, что датчики были разработаны и изготовлены в Южной Корее. Южнокорейские производители чипов, такие как Samsung, традиционно полагались на иностранные инструменты для таких передовых процессов. Разработка собственных интеллектуальных сенсорных систем знаменует собой большие перемены, поскольку в некоторой степени снижает эту зависимость, хотя большинство инструментов, используемых Samsung, по-прежнему производятся за пределами страны.
