Учёные из Южной Кореи представили инновационную "прозрачную" керамику, которая отличается выдающейся устойчивостью к воздействию плазмы. Это новшество будет нацелено на значительное и устойчивое продление срока службы внутренних компонентов сложного и высокотехнологичного оборудования для травления полупроводников, а также на ощутимое, что не может не радовать, уменьшение негативного воздействия и загрязнений, неизбежно возникающих в процессе их сложного производства. В своей работе исследователи сделали смелый и новаторский шаг, отказавшись от привычных традиционных керамических материалов, таких как широко используемые оксид иттрия (Y2O3), оксид алюминия (Al2O3), а также иттрий-алюминиевый гранат (YAG), и вместо этого, продемонстрировали совершенно новый подход, создав уникальную и многообещающую формулу высокоэнтропийной керамики. Применив передовой и технически сложный метод спекания для достижения исключительно высокой плотности материала, они разработали керамику удивительной плотности 99,9%. Этот материал, без малейшего сомнения, идеально подходит и превосходно адаптирован для применения в чрезвычайно важных и передовых технологиях травления, обеспечивая большую стойкость к воздействию агрессивной плазмы. Кроме того, научная команда, проявляя внимание к деталям и высокую степень профессионализма, провела целый ряд экспериментов с изменением и модификацией кристаллической структуры материала. В результате у них получилась керамика, обладающая способностью пропускать не только видимый, но и инфракрасный свет, что стало возможным благодаря контролю её пористости.