Бельгийская лаборатория IMEC получила от ASML один из первых литографических сканеров с высокой числовой апертурой (High-NA EUV) не просто так, а с вполне определённой целью — помочь участникам рынка в освоении более совершенных литографических технологий с помощью подобного оборудования. Как сообщает Reuters, специалистам IMEC уже удалось изготовить с помощью данной машины ASML самые маленькие в мире чипы — как ячейки памяти, так и логические компоненты. Конкретные параметры полученных тестовых чипов не уточняются.

Важно, что изготовлены эти рекордно компактные чипы были за один проход, и все использованные при этом химикаты и элементы оснастки можно будет применять в массовом производстве в рамках соответствующих технологических процессов. Intel в этом году получит уже второй такой литографический сканер ASML, а TSMC надеется получить первый до конца года, чтобы примерно к 2028 году освоить с его выпуск чипов по технологии A14.