Весной этого года «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ) объявил о завершении разработки первого отечественного литографического оборудования, с рабочим разрешением 350 нанометров. Аппарат успешно прошел испытания и теперь готовится к поставке своему первому заказчику — российской компании «Отраслевые решения».

Новый аппарат способен обрабатывать пластины кремния диаметром 150 и 200 миллиметров, с рабочей областью размером 22×22 миллиметра. Для нанесения изображений используется ультрафиолетовая экспозиция с длиной волны 365 нанометров. Литограф позволяет создавать сверхбольшие интегральные схемы (СБИС) с проектируемым технологическим шагом 0,35 микрометра.

Разработка является важным этапом развития отечественных технологий производства микроэлектроники и позволит российским компаниям снизить зависимость от зарубежных поставщиков аналогичного оборудования. Стоимость готового изделия пока официально не озвучивалась.

Ранее Зеленоградский центр сообщил о запуске проекта по созданию нового поколения литографического оборудования с разрешением 130 нанометров. По предварительным оценкам, цена такой системы составит порядка шести миллионов долларов.