Ближе к завершению 2021 года Минпромторг предоставил более 5.5 миллиардов рублей на разработку российских литографических сканеров, и, по недавно полученной журналистами информации, Зеленоградский нанотехнологический центр уже начал работать над соответствующим заказом. На первом этапе планируется создание сканеров, работающих на уровне техпроцессов до 350 нм, на втором - до 130 нм, при этом серийное производство начнется не раньше 2025 года.

К 2024 году, если не случится непредвиденных задержек, будет подготовлен опытный образец 350-нанометрового сканера, использующий полупроводниковый лазер российского производства. Устройство будет рассчитано на обработку 150- и 200-миллиметровых кремниевых пластин. Согласно плану, отечественные литографические сканеры в итоге должны полностью заменить зарубежные в рамках стратегии импортозамещения.

Конкретный серийный производитель конечных устройств будет определен позже - это может быть как одна из российских компаний, так и, например, белорусский "Планар". Задача России здесь - обезопасить свою электронную промышленность на случае введения тех или иных санкций на поставки полупроводниковой продукции..