Компания Toshiba собирается использовать оборудование Canon в производстве микросхем флэш-памяти с топологическими нормами 15 нм, выпуск которых запланирован на 2015 год, сообщает сайт DigiTimes со ссылкой на японское издание Nikkan Kogyo Shimbun. Toshiba является вторым по величине производителем флэш-памяти, в настоящий время компания освоила выпуск изделий с 19-нм нормами.
Toshiba и Canon будут совместно развивать технологию нанопечатной литографии. Соответствующее производство будет развёрнуто на заводе Yokkaichi, расположенном в префектуре Миэ, Япония.
В нанопечатной литографии изображение на подложку переносится посредством механической деформации резиста специальной формой, причём технология позволяет создавать структуры размером менее 10 нм. Исключение из технологического процесса облучения резиста через фотошаблон, как в "обычной" фотолитографии, несколько упрощает производство.
