До недавних пор считалось, что компании Intel для освоения техпроцесса 18A потребуются литографические сканеры ASML с высоким значением числовой апертуры (так называемые High-NA EUV), но публикация на страницах ресурса AnandTech позволяет понять, что это не совсем так.

Дело в том, что первый сканер такого типа поступит в распоряжение Intel до конца текущего года, но если учесть, что выпуск чипов по технологии 18A компания наладит уже к концу следующего года, то нескольких месяцев и единственного сканера для достижения последней цели не хватит. По сути же Intel намеревается освоить выпуск чипов по техпроцессу 18A, используя имеющееся в своём распоряжении литографическое оборудование предыдущего поколения, а сканеры класса High-NA EUV будет массово применять уже в рамках следующей ступени техпроцесса. Фактически, первые образцы продукции, выпущенные по технологии Intel 18A, выйдут уже в первом квартале 2024 года. При этом Intel действительно начнёт экспериментировать с литографическим оборудованием нового поколения именно в рамках техпроцесса 18A, но до массового применения сканеров с высоким значением числовой апертуры дело пока не дойдёт.