Ещё в 2019 году компания ASML заявляла, что оборудование с высоким значением апертуры у неё готовы заказывать три клиента, а количество нужных им EUV-сканеров данного класса достигает 12 штук. Как поясняет Reuters, в 2023 году ASML отгрузит своим клиентам первые пять прототипов соответствующих установок, а каждый экземпляр серийной машины будет стоить $300 млн.

Если же говорить о сканере серии TWINSCAN EXE:5200, который Intel собирается с 2025 года использовать для выпуска продукции по технологии 18A, то он будет стоить не менее $340 млн, как признались представители производителя. Как правило, среднее предприятие по производству процессоров требует от девяти до восемнадцати подобных установок, так что освоение передовых техпроцессов останется для Intel очень дорогим удовольствием.