TSMC остаётся крупнейшим контрактным производителем полупроводниковых изделий, а потому плотно сотрудничает с поставщиком литографического оборудования – голландской компанией ASML. Как сообщает DigiTimes, до конца 2021 года TSMC приобретёт у ASML пятьдесят пять комплектов оборудования для работы с EUV-литографией, которая активно применяется в рамках 7-нм техпроцесса и более тонких. Это больше, чем планировалось изначально, что позволяет говорить о намерениях TSMC ускорить внедрение EUV-литографии на производстве.

Конкурирующая Samsung Electronics к концу 2021 года приобретёт не более 25 литографических сканеров для работы с EUV-литографией. С другой стороны, Samsung основную часть подобного оборудования намеревается задействовать для производства памяти. Тайваньские источники не исключают, что и Micron на этом фоне постарается ускорить переход на EUV, и первое предприятие с применением литографии этого класса начнёт действовать на территории Тайваня. ASML даже открыла для инженеров TSMC учебный центр на Тайване, позволяющий постигнуть все премудрости работы с EUV-сканерами этой марки.