Корейская компания SK keyfoundry объявила о разработке новой технологии трехмерных датчиков, использующих эффект Холла для измерения скорости и направления движения. Датчик на основе эффекта Холла измеряет силу магнитного поля с помощью разности напряжений, возникающих при прохождении проводника или полупроводника через магнитное поле. Такие датчики могут использоваться для определения положения, скорости, вращения, направления и тока в различных устройствах.
SK keyfoundry уже предлагает своим клиентам одномерные и двумерные датчики эффекта Холла, а теперь они выпустили новый трехмерный датчик, который объединяет вертикальные и планарные датчики на одном кристалле. Он обладает повышенной чувствительностью и позволяет измерять трехмерные изменения направления и скорости движения в режиме реального времени.

Одной из важных особенностей этого трехмерного датчика является его возможность интеграции в продукцию заказчика с помощью добавления масок в существующие процессы. Это облегчает внедрение датчика. Компания предлагает несколько вариантов интеграции с узлами, имеющими размер от 0,13 до 0,18 мкм.