По данным UDN, компания Huawei подала патентную заявку на сканер для литографии в экстремальном ультрафиолете (EUV). Если компания создаст такой сканер и добьется достойной производительности, времени безотказной работы и доходности, китайские производители микросхем смогут производить чипы по технологиям класса менее 7 нм. Вопрос только когда? 

В середине ноября Huawei подала заявку в Государственное ведомство интеллектуальной собственности на получение патента на сканер EUV и его ключевые компоненты. Номер заявки на патент — 202110524685X, сообщает MyDrivers.

Патентная заявка, по-видимому, распространяется на все важнейшие компоненты сканера EUV, включая генератор света EUV с длиной волны 13,5 нм (источник света), набор отражающих зеркал, систему литографии и «технологии управления контролем», согласно описаниям, опубликованным различными СМИ.

Подача заявки на патент не равносильна возможности построить сканер EUV, который представляет собой очень сложную машину, состоящую из множества современных компонентов, которые должны работать идеально согласованно и в течение длительного времени. Более того, даже имея под рукой инструмент EUV, производителям чипов все еще нужно найти правильные материалы для компонентов, необходимых для крупносерийного производства. 

Сканер EUV с числовой апертурой 0,33 является вершиной современных инструментов для производства полупроводников. Многочисленные компании пытались разработать такой инструмент, но только ASML преуспела после более чем десяти лет разработки и при финансовой поддержке Intel, Samsung и TSMC. Сегодня Samsung, SK Hynix и TSMC активно используют инструменты EUV из ASML, но Intel еще только предстоит начать крупносерийное производство чипов с использованием этих инструментов.  

На данный момент только Intel, Micron, Samsung, SK Hynix и TSMC либо используют, либо планируют использовать сканеры EUV. Более того, только эти пять компаний разработали (или планируют разработать) технологические процессы, достаточно сложные, чтобы использовать преимущества сканеров EUV. Между тем, базирующаяся в Китае компания SMIC не могла получить уже закупленный инструмент EUV для разработки собственного процесса изготовления на основе EUV из-за Вассенаарской договоренности. Таким образом, очевидно, что в Китае потенциально существует спрос на сканеры EUV, и, по-видимому, Huawei стремилась удовлетворить его. 

Как высокотехнологичный конгломерат мирового класса с годовым доходом около 100 миллиардов долларов, Huawei преследует разные цели и разрабатывает множество технологий. Амбиции компании в области производства полупроводников хорошо известны, и они не ограничиваются производством микросхем, но также и производством оборудования для создания полупроводников. Усилия Huawei по WFE продвигаются довольно хорошо, поскольку компания уже подала заявку на патент.