Источник изображения: Lam Research
Компания Lam Research представила высокоточного робота для работы на оборудовании фабрик по производству полупроводников, в которых обычно установлено сотни аппаратов, требующих регулярного сложного обслуживания. Точность этого процесса критически важна, поскольку правильная сборка компонентов напрямую влияет на выход качественной продукции. До недавнего времени такие работы выполнялись исключительно людьми, часто совершая ошибки, связанные с человеческим фактором.
Dextro – это мобильный робот с манипулятором, оснащенным сменными рабочими частями для выполнения трех ключевых задач по обслуживанию. Он способен устанавливать расходные материалы с точностью, вдвое превышающей ручную сборку, что улучшая производительность. Также робот затягивает болты высокоточных вакуумных уплотнений с заданной точностью, снижая уровень ошибок до нуля и предотвращая отклонения температуры, способной нарушить производственный процесс.
Кроме того, Dextro может безопасно очищать стенки камер от полимерных отложений без демонтажа оборудования, что освобождает инженеров от необходимости использовать тяжелую защитную экипировку. При этом стоит подчеркнуть, что Dextro не замещает человеческий труд, а скорее дополняет и усиливает возможности работников.
На данный момент робот совместим с инструментами для диэлектрического травления серий Flex G и H от Lam. Планируется расширить его применение и относительно других инструментов к 2025 году, что в целом расширит его использование в индустрии производства микросхем.
Dextro уже функционирует в нескольких передовых фабриках по всему миру, улучшая показатели "первого прохода" (FTR) и снижая ошибки при обслуживании. По словам Юнга Джу Кима (Young Ju Kim), вице-президента и главы команды по технологии травления памяти в Samsung Electronics, «безошибочное обслуживание Dextro способствует улучшению стабильности производства и выхода продукции».
