Экс-глава корпорации Intel Пэт Гелсингер назначен председателем совета директоров перспективного стартапа xLight. Компания специализируется на разработке революционной системы EUV-литографии нового поколения, использующей технологию свободных электронов (Free Electron Laser, FEL).
xLight предлагает принципиально новую концепцию источника ультрафиолетового излучения (EUV) для фотолитографии микросхем. Вместо используемых сегодня лазерно-плазменных установок (Laser Produced Plasma, LPP), создающих излучение путем испарения жидких металлических капель, стартап разработал свободнопучковый лазер на базе ускорителя частиц. Электронный луч проходит через специальную магнитную структуру (ондулятор), генерируя мощное когерентное излучение с длиной волны 13,5 нм.
Преимущества новой разработки очевидны:
Сегодня ASML демонстрирует лабораторные образцы мощностью до 500 Вт, тогда как прототипы xLight уже достигают отметки в 1000 Вт.
Применение инновационных технологий позволит существенно сократить издержки производства микрочипов. По оценкам руководства xLight, использование разработанных ими источников снизит затраты на одну пластину вдвое, а капитальные и операционные расходы уменьшатся в три раза по сравнению с традиционными системами.
Несмотря на отсутствие прямой конкуренции с крупнейшим производителем литографического оборудования ASML, xLight рассчитывает занять свою нишу на рынке, предлагая универсальные модули FEL, интегрируемые в существующие установки.
Помимо микроэлектроники, свободные электронные лазеры найдут применение в ряде смежных областей, таких как метрология, медицина, биология и космонавтика.