ASML приступает к коммерческим поставкам EUV-сканеров


С 2013 по 2016 год нидерландская компания ASML — специалист по промышленному оборудованию для выпуска полупроводников — поставила заказчикам 14 литографических сканеров диапазона EUV. Данное оборудование считалось опытным, поскольку мощность источников излучения в его составе не позволяла обрабатывать кремниевые пластины с достаточно высокой скоростью. К настоящему моменту мощность источников EUV-излучения удалось поднять до 250 Вт и обеспечить скорость обработки порядка 100 пластин в час. В следующем году скорость обработки будет увеличена до 125 пластин в час. Замены потребует только источник излучения, что позволяет провести модернизацию на месте.

С учётом технологических пауз каждый сканер ASML последнего поколения в сутки может обработать 2000 пластин диаметром 300 мм. Длина волны EUV-излучения в данном поколении сканеров равна 13,5 нм, что на порядок короче, чем у актуальных массовых сканеров. Применение EUV-сканеров начнётся с 7-нм техпроцесса. Компания Samsung планирует начать коммерческую эксплуатацию EUV-оборудования в первом поколении 7-нм техпроцесса в 2018 году, а компании TSMC и GlobalFoundries рассчитывают внедрить EUV-проекцию в 2019 или 2020 году для второго поколения 7-нм техпроцесса.

Коммерческая зрелость EUV-сканеров позволяет начать полномасштабные поставки оборудования. Так, в текущем году ASML поставит заказчикам 12 сканеров, а в следующем году уже 24 установки. Процесс, как говорится, пошёл. Стоимость каждой из них составит свыше 100 млн евро ($119). Компания ASML при этом остаётся монополистом. Кроме неё никто в мире не умеет выпускать проекционные установки для работы с EUV-диапазоном. Предыдущий лидер рынка литографических сканеров — японская компания Nikon — ещё на раннем этапе разработок отказалась от EUV-диапазона и сосредоточилась на технологии нанопечати (nanoimprint). И прогадала. Так что сегодня компании ASML принадлежит порядка 80 % рынка литографических сканеров, а Nikon сокращает персонал и объёмы выполненных работ, занимаясь выпуском оборудования под заказ.

Telegram-канал @overclockers_news - это удобный способ следить за новыми материалами на сайте. С картинками, расширенными описаниями и без рекламы.
Оценитe материал
рейтинг: 4.9 из 5
голосов: 17

Возможно вас заинтересует

Сейчас обсуждают