AMD успешно осваивает EUV-литографию


Ещё в 2005 году мы узнали, что Intel начинает готовиться к использованию EUV-литографии (литографии с использованием жёсткого ультрафиолетового излучения) при производстве 32 нм процессоров. Сейчас мы гораздо ближе к тому моменту, когда с конвейера Intel начнут сходить 32 нм процессоры. Первое поколение процессоров Nehalem будет выпускаться по 45 нм технологии, но на рубеже 2009-2010 годов им на смену придут 32 нм процессоры Westmere. В конце 2010 года должны появиться 32 нм процессоры Sandy Bridge, несущие новую архитектуру.

Напомним, что EUV-литография позволяет использовать свет с длиной волны 13,5 нм против нынешних 193 нм, и это является важным шагом на пути создания более компактных транзисторов. Вчера о своих успехах в освоении EUV-литографии доложила компания AMD, которая традиционно использует сотрудничество с IBM для технологической подготовки производства. Пресс-релиз гласит о получении "полномасштабного" рабочего образца микросхемы, в которой первый слой металлических соединений создан с помощью EUV-литографии. В предыдущих образцах эта технология использовалась только на небольших частях микросхемы, а сейчас была полностью обработана микросхема размерами 22 х 33 мм.

Сначала пробная микросхема AMD прошла обработку на Fab 36 в Дрездене, где используется 193 нм иммерсионная литография. Затем подложка с пробной микросхемой была передана в исследовательский центр IBM (штат Нью-Йорк), где AMD и IBM со своими партнерами использовали сканер EUV-литографии компании ASML. С помощью этого сканера был нанесён первый слой металлических соединений между транзисторами, изготовленными в Германии. На пробные подложки будут нанесены дополнительные слои внутренних соединений с помощью стандартной фабричной обработки, что позволит также протестировать крупные массивы памяти.

В дальнейшем AMD планирует использовать EUV-литографию для создания всех слоёв микросхемы. Ожидается, что к 2016 году полномасштабная EUV-литография будет внедрена при производстве 22 нм процессоров. Таким образом, AMD продолжает шагать в ногу с техническим прогрессом, и IBM остаётся важнейшим технологическим партнёром этой компании.

Оценитe материал
рейтинг: 4.8 из 5
голосов: 64

Возможно вас заинтересует

Сейчас обсуждают